지난 3일 대만 동부 화롄현에서 규모 7.2의 강진이 일어났다. 세계 최대 파운드리(반도체 위탁생산) 기업인 TSMC는 지진 발생 후 이틀 만인 5일, “웨이퍼 팹(반도체 생산공장)의 설비가 대부분 복구 됐다”고 발표했다. 

허주회 한국폴리텍대학교 반도체시스템학과 교수는 “반도체 공장들은 내진설계는 물론, 지진 등 재해로부터의 피해를 최소화할 수 있는 방법으로 건설된다. 전통적으로 지진이 많이 발생하는 대만이나 일본과 같은 나라들에서의 대비는 더 뛰어날 것”이라고 말했다. 

삼성전자 관계자는 “지진과 같은 자연재해에 대비하기 위한 설비를 갖추고 있다”고 설명했다.

SK하이닉스 관계자 또한 “건축물에 진동을 줄이는 특수장치 ‘댐퍼(damper)’를 설치했다”고 말했다. 

반도체 공정은 머리카락 굵기의 10만 분의 일 크기와 같은 ‘나노(㎚) 단위’를 다루는, 매우 세밀한 작업 과정들의 집합이다.

작은 진동조차 치명적인 장비들은 ‘제진대’ 위에 올려둬 진동을 덜 느끼게 한다. 빛을 통해 웨이퍼에 회로를 그려 넣는 포토 장비, 문제가 있는지 검사하는 MI장비 등이 대표적이다. 

장비 자체가 지진을 대비한 시스템을 갖추고 있는 경우 또한 있다. 장비 스스로 웨이퍼와 장비의 피해를 막기 위해 가동을 중단하는 방식이다. 네덜란드 반도체 장비회사 ASML의 포토장비가 그렇다. 

통제 불가능한 자연재해뿐 아니라 자체 발전 시설을 갖춰 정전 등의 내부 변수에도 대비한다.

24시간 온도, 습도 등이 일정하게 유지돼야 하는 공장이 여름철 대규모 전력 소비 등의 이유로 잠시라도 멈추게 된다면 섬세한 공정을 흩뜨려 손실이 막대하다.

반도체 품질이 저하되고 연쇄적으로 얽힌 다른 공정에 영향을 끼친다.  

한편 전문가들은 대만 TSMC 공장이 완전한 복구에 이르기까지는 오랜 시간이 걸릴 것이라고 내다봤다.

업계 관계자는 “고객사들 요구한 물량을 생산하는 데 지장이 없을 것으로 알려져 당장은 큰 문제가 되지 않을 것으로 보이나, 미세한 공정들을 다루는 반도체 공장이 원래 수준으로 완전히 복구되는 데는 꽤 많은 시간이 필요햘 것”이라고 말했다.