[한일 경제전쟁] 삼성, 불화수소 이어 포토레지스트도 확보했나... "벨기에서 6~10개월치 공급"
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[한일 경제전쟁] 삼성, 불화수소 이어 포토레지스트도 확보했나... "벨기에서 6~10개월치 공급"
  • 양도웅 기자
  • 승인 2019.08.11 20:57
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일본 매체, 삼성이 벨기에 소재 일본-벨기에 합작법인으로부터 
6~10개월치 포토레지스트 물량 확보했다고 보도
일본 모리타화학공업, 중국서 '불화수소' 한국으로 보내겠다 밝히기도 

삼성이 벨기에 소재 기업으로부터 반도체 핵심 소재 일부를 조달하고 있다는 보도가 일본서 나왔다. 

11일 일본 경제전문 매체 '닛케이 아시안 리뷰'(닛케이)는 한양대 박재근 교수(융합전자공학부)의 말을 인용해, 삼성전자가 벨게이에 있는 한 업체로부터 포토레지스트(감광액)를 조달하고 있다고 전했다. 

포토레지스트는 일본 정부가 지난달 1일 대한(對韓) 수출규제 조치를 취한 반도체 핵심 소재 3종 중 하나다. 최첨단 칩 제조 공정에서 실리콘 웨이퍼에 회로 패턴을 저장하는 데 사용하는 물질이다. 

삼성 간부 출신이기도 한 박재근 교수가 삼성이 벨기업에 있는 업체로부터 6~10개월치 물량의 포토레지스트를 구입했다고 밝혔다.  

박 교수가 정확하게 꼽지는 않았지만, 닛케이는 일본이 포토레지스트를 구입한 업체로 일본 기업 JSR과 벨기에 연구센터 IMEC가 2016년 설립한 EUV레지스트일 것으로 추정했다. 

EUV레지스트의 최대 주주는 일본 기업인 JSR의 벨기에 자회사인 JSR마이크로다. 

앞서, 닛케이는 일본의 첫 번째 수출규제 조치가 있은 후인 7월 중순, JSR 사정에 밝은 한 소식통이 "우리는 벨기에 합작법인을 통해 삼성에 포토레지스트를 공급할 것"이라고 말한 것을 보도한 바 있다. 

11일 보도는 지난 보도가 좀 더 구체화된 것. 

삼성전자가 벨기에에 있는 일본과 벨기에의 합작기업으로부터 6~10개월치 물량의 포토레지스트를 확보했다는 보도가 일본 경제전문 매체인 '닛케이 아시안 리뷰'서 나왔다. [사진=연합뉴스]
삼성전자가 벨기에에 있는 일본과 벨기에의 합작기업으로부터 6~10개월치 물량의 포토레지스트를 확보했다는 보도가 일본 경제전문 매체인 '닛케이 아시안 리뷰'서 나왔다. [자료=연합뉴스]

닛케이는 일본 기업이 제3국의 시설을 통해 한국으로 규제 품목을 공급하는 것에 일본 정부가 감시를 할 수 있다고도 전했다. 

반면, 일본 정부가 '캐치 올'제도까지 언급하며 광범위하게 한국으로 전략 물자 등이 수츨되는 걸 막겠다고 밝히기도 했지만, 제3국의 합작법인에까지 규제하기란 쉽지 않을 것이란 분석도 있다. 

이미 9일 니혼게이자이신문은 "(고순도) 불화수소 제조업체 모리타화학공업이 연내 가동을 시작하는 중국 공장에서 불화수소를 생산해 한국에 수출하는 방안을 검토하고 있다"는 보도도 나왔다. 

고순도불화수소는 포토레지스트, 플루오린폴리이미드와 함께 일본의 첫 대한 수출규제 조치 품목 3개 소재다. 

모리타화학공업은 삼성전자와 SK하이닉스의 불화수소 대부분을 공급해온 기업이다. 

모리타화학공업의 모리타 야스오 사장은 "(수출 규제가 본격화된 이후) 지금까지 수출 허가가 나지 않았고, 갖춰야 할 서류도 3종에서 9종으로 늘어났다"며 "한·일 간에 비슷한 문제가 계속되면 한국에 보내는 물량을 일본이 아닌 중국에서 보낼 수도 있다"고 밝혔다. 

그간 불화수소의 원료만 중국에서 생산하고 고순도 가공은 일본에서 해 한국으로 수출한 생산체계를, 중국에서 원료 생산과 고순도 가공, 한국으로의 수출까지 하는 체계로 바꾸겠다는 것. 

[자료=연합뉴스]
최근 모리타화학공업 사장은 고순도 불화수소를 '중국서 원료 생산 및 가공→한국으로의 수출'로 생산체계를 바꿀 수도 있다고 밝혔다. 모리타화학공업은 삼성전자와 SK하이닉스가 사용하는 고순도 불화수소 대부분을 공급하는 일본 기업이다.  [자료=연합뉴스]

더군다나, 일본 경제산업성(경산성)은 지난 8일 포토레지스트의 개별 수출 신청이 들어온 삼성용 포토레지스트 수출건에 대해 군사전용 우려가 없다고 판단해, 한 달여 만에 수출을 승인했다고 발표한 상황이다. 

한 달여 만의 승인은 수출규제 조치로 일반적으로 심사 기간이 90일이라는 점과 비교해 대폭 단축된 시간이다. 

경산성의 이러한 움직임은, 일본의 예측과 달리 삼성이 조기에 포토레지스트의 대체 공급처를 확보한 점을 고려했기 때문이라는 분석이 일각에서 나오고 있다. 

일본의 마이니치 신문은 9일 일본 정부가 수출규제 한 달여 만에 자국 기업에 한국으로의 수출을 처음으로 허가했다는 소식을 전하면서, 일본 정부 관계자가 "예상 이상으로 소동이 커졌다"며 '오산'이 있었음을 인정했다고 전하기도 했다. 

또, 마이니치 신문은 일본 정부 관계자가 "일본 정부가 광복절까지는 한국에서 반일 감정이 고조될 것으로 보고 있다"며 "이달 후반에는 외교 당국자 간 협의가 이뤄질 전망"이라고 밝혔다고 보도했다. 

양도웅 기자  lycaon@greened.kr

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