세메스, 대한기계학회와 ‘KSOIC’ 대회 개최…산학 협력 강화

[녹색경제신문 = 문슬예 기자] 세메스가 산학 협력을 기반으로 반도체·디스플레이 장비 기술 경쟁력 강화에 나섰다. 

12일 국내 반도체 장비업체 세메스는 강원도 하이원 그랜드호텔에서 ‘제10회 대한기계학회-세메스 오픈 이노베이션 챌린지(KSME-SEMES Open Innovation Challenge)’를 열고 우수논문 시상식 및 발표회를 개최했다고 밝혔다.

해당 행사는 반도체·디스플레이 장비 공정기술, 초정밀 센서 및 계측기술 등 산업현장에서 직접 활용될 기계공학 솔루션을 발굴하기 위한 공모전이다. 창립 80주년을 맞은 대한기계학회는 회원 수 3만명, 연간 발표 논문 1600편 규모의 국내 최대 기계공학 학술단체로, 세메스는 학회와의 전략적 파트너십을 통해 차별화된 고성능 장비 개발을 앞당긴다는 계획이다.

올해 공모전에는 국내 28개 대학·연구기관에서 ▲생산설비기술 ▲CAE기술 ▲계측제어기술 ▲열·유체·소재기술 ▲공정기술 ▲AI기술 등 6개 분야를 주제로 총 96편의 제안서가 접수됐다. 심사를 통해 대상 1팀, 금상 2팀 등 총 12개 팀이 선정됐다. 

대상은 ‘이벤트 카메라 기반 3D-LPT를 통한 웨이퍼 엣지 액적 충돌 메커니즘 규명’을 주제로 연구한 서울대 기계공학과 박형민 교수팀이 수상했다. 금상은 KAIST 박인규 교수팀과 서강대 박정열 교수팀이 각각 차지했다.

대회는 지난 10년간 100여 편의 수상작 중에서 초임계·클린·자동화·검사·센서·디스플레이 분야 혁신 기술을 선정해 총 10개의 산학과제를 수행했다. 이 과정에서 정밀 측정기술, 계측 장비기술, 초미세 제어기술 등 차세대 핵심장비 개발에 필수적인 기술 다수가 확보됐다는 설명이다.

심상필 세메스 대표는 “앞으로도 학회의 우수한 연구 인프라를 활용해 시장에서 요구하는 고난이도 반도체 공정장비 기술개발에 앞장서겠다”고 말했다.